搜狐,爱情岛论坛免费入口在线 ,天天射日日射,操逼av在线

技術文章您的位置:網(wǎng)站首頁 >技術文章 >干法刻蝕

干法刻蝕

更新時間:2020-11-05   點擊次數(shù):3242次

 

在半導體制造中,干法刻蝕是用來去除表面材料的主要的刻蝕方法。干法刻蝕是把硅片表面暴露于氣態(tài)中產(chǎn)生的等離子體,等離子體通過光刻膠中開出的窗口與硅片發(fā)生物理或化學反應,從而去掉暴露的材料。

一個等離子體干法刻蝕系統(tǒng)由發(fā)生刻蝕反應的反應腔、一個產(chǎn)生等離子體的射頻電源、氣體流量控制系統(tǒng)、去除刻蝕生成物和氣體的真空系統(tǒng)等組成。刻蝕反應系統(tǒng)包括傳感器、氣體流量控制單元和終點觸發(fā)探測器。一般的干法刻蝕中的控制參數(shù)包括真空度、氣體混合組分、氣流流速、溫度、射頻功率和硅片相對于等離子體的位置。常用的干法等離子體反應器類型包括圓筒式等離子體反應器、平板式反應器、順流刻蝕系統(tǒng)、三級平面反應器、離子銑、反應離子刻蝕器、高密度等離子體刻蝕機等。

内射中出日韩无国产剧情| 尤物在线视频| 日韩 综合| 亚洲欧美一区企业| 国产丨熟女丨国产熟女在线| 欧美一级夜夜爽| 成人不卡精品在线| 欧美激情国产精品一区二区| 国产成人无码精品久久二区三区| 欧美精品亚洲精品| 国产精品久久久久精品三级卜| 鸥美黄片| 色吧| 激情官网| 亚洲国产欧州日韩一区二区| 灵台县| 久久日av| 午夜免费国产体验区免费的| 综合激情五月丁香| 91精品久久久久久爆乳| 精品国产一区二区三区免费| 被黑人的巨茎日出白浆| 久久国产高清| 亚洲欧美 中文激情| 免费在线你懂的| 超碰人人| 中文字幕在线不卡视频| 夜夜操夜夜| 亚洲天堂最新地址| 亚洲综合剧情一区| 中国熟妇hd| 久久高潮喷吹| 尤物精品国产亚洲AV麻豆蜜臀| 男女性av| 欧美zc0o人与善交| 国产呦精品一区二区三区网站| 欧美激情国产视频一区| 国产亚洲综合色| 国产女厕一区二区三区在线视| www.五月天.com| 日韩麻豆|