搜狐,爱情岛论坛免费入口在线 ,天天射日日射,操逼av在线

技術(shù)文章您的位置:網(wǎng)站首頁(yè) >技術(shù)文章 >半導(dǎo)體中的干蝕刻如何理解

半導(dǎo)體中的干蝕刻如何理解

更新時(shí)間:2020-08-31   點(diǎn)擊次數(shù):3502次

干蝕刻是一類較新型,但迅速為半導(dǎo)體工業(yè)所采用的技術(shù)。其利用電漿(plasma)來(lái)進(jìn)行半導(dǎo)體薄膜材料的蝕刻加工。其中電漿必須在真空度約100.001Torr的環(huán)境下,才有可能被激發(fā)出來(lái);而干蝕刻采用的氣體,或轟擊質(zhì)量頗巨,或化學(xué)活性*,均能達(dá)成蝕刻的目的。干蝕刻基本上包括「離子轟擊」(ion-bombardment)與「化學(xué)反應(yīng)」(chemicalreaction)兩部份蝕刻機(jī)制。偏「離子轟擊」效應(yīng)者使用氬氣(argon),加工出來(lái)之邊緣側(cè)向侵蝕現(xiàn)象極微。而偏「化學(xué)反應(yīng)」效應(yīng)者則采氟系或氯系氣體(如四氟化碳CF4),經(jīng)激發(fā)出來(lái)的電漿,即帶有氟或氯之離子團(tuán),可快速與芯片表面材質(zhì)反應(yīng)。干蝕刻法可直接利用光阻作蝕刻之阻絕遮幕,不必另行成長(zhǎng)阻絕遮幕之半導(dǎo)體材料。而其重要的優(yōu)點(diǎn),能兼顧邊緣側(cè)向侵蝕現(xiàn)象極微與高蝕刻率兩種優(yōu)點(diǎn),換言之,本技術(shù)中所謂「活性離子蝕刻」(reactiveionetch;RIE)已足敷「次微米」線寬制程技術(shù)的要求,而正被大量使用中。

九色porny丨国产精品| 美女综合在线| 精品国产va久久久久久久| 欧美精品国产综合久久| 日韩小黄片| 国产精品6080| 亚洲av免费福利精品| 欧美亚洲日韩 国产| 色伊人精品视频| 亚洲 中文字幕 日韩 无码| 吃中文字幕中文在线| 国产亚洲视频在线播放| 另类一区二区三区| 密云县| 一区亚洲| 国产AV人人夜夜澡人人爽麻豆 | 五月天婷婷缴情五月免费观看| 日韩粽合| AV一本大道无码| 中文字幕av一区中文字幕天堂| 日韩不卡小黄片| 欧美熟女色| 免费超碰| 亚洲AV日韩AV欧v在线天堂| 农场性另类xxxxxx| 超碰激情麻豆| 国内精品久久久久久久影视麻生| av不卡在线播放| 亚洲欧美一区二区三区久本道91| 99久久久国产精品| 精品亚洲一区二区三区四区五区| av天堂一区| 狼友求最新网址| 婷婷成人av网站| 色鲁在线| 久久精品黄AA片一区二区三区| 国产精品鲁鲁鲁| 91久久精品午夜一区二区| 五月丁香久久久久| 日韩精品在线| av网站免费|